关于OTFC系列

OTFC-900

OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。

特征
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控
使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
工件架可选择钟罩式或行星式
排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
规格
设备名称 OTFC-900CBI/DBI
真空室 SUS304, φ900mm×1300mm (H)
工件架 φ 790mm
工件架转速 10 rpm to 30 rpm (可变)
光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪波长范围：350nm to1100nm反射式/透射式可选
水晶式膜厚计 XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源 电子枪2套
离子源 10cm RF 离子源
排气系统 机械泵+1个扩散泵+Polycold（或1个冷凝泵）
性能
达到压力 7.0 × 10-5 Pa 以下
排气时间 15 分 (大气压 1.3×10-3 Pa)
基板温度 最高：350℃
工作条件
设备尺寸 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
电源 3相,200v,50/60Hz, 约80KVA
水流量 80升/分以上
空气压力 0.5MPa 以上
重量 约5400kg