光学膜厚监控仪
HOM1-1
高精度光学膜厚监控仪
用于DWDM成膜用真空镀膜系统的膜厚控制。
- 特征
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高NA值光学系统和低噪音电路设计，实现低噪音，相对值达到 +0.01%
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应用高分解能分光光学系，波长分解能达到0.08nm(1550nm)
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使用卤素灯光源，使用波长范围1100nm-1700nm
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运用先进的成膜计算控制技术,光透过率的极值监控能力可达+0.01%
- 规格
- 型号 HOM1-1
- 波长带域 1100nm - 1700nm
- 波长分解能 0.08nm
- 光亮设定分解能 0.001%
- 光源 卤素灯
- 电源 AC100V±10%, 50/60Hz
- 消费电力 600VA
