光学膜厚监控仪

DHOM-T

直接透过式监控仪

DHOM-T是可直接監控成膜過程中旋轉基板上的光學膜厚的光学膜厚计。 波长带域为350～1100nm与350～2400nm。

特征
可直接监控旋转基板片上的光学膜厚
旋转基板上的监控点可变(鍍膜前调整)
可同時配备间接控制仪能实现各层间控制方式切换
规格
型号 DHOM2-T DHOM4-T
波长带域 350 ～ 1100nm 350 ～ 2400nm
測光方式 透过式
光源 卤素灯
电源 AC100V ± 10%, 50/60Hz