连续式光学薄膜形成装置

COFC-1300

COFC-1300是由三个腔体组成的连续式光学薄膜镀膜，可不破坏真空的情况下搬运工件，以实现连续大量生产光学滤光片。

特征
无振动伞架搬运系统
中心旋转系统可提高旋转精度并抑制颗粒产生
转速为20rpm，以改善膜厚控制能力
12点式高精度光学测厚监控仪
水晶微平衡监控仪（最多80个监测点）
装载射频离子源以实现高品质复杂薄膜
自动伞架安装系统（可选自动装载搬运系统，可选额外真空室）
规格
真空腔体（3腔体式） 上片腔体+蒸镀腔体+下片腔体
（可选上片/下片式）
真空上片/下片腔体（2腔体） 304不锈钢，
约1500mm (长) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
蒸镀腔体（2个门阀） 304不锈钢，
约1500mm (长) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
极限真空压力 ≤1.5 × 10-4 Pa
连续镀膜的极限真空时间 ≤5 - 10分钟 (7.0 × 10-3 Pa)
基板伞架 直径1200 mm
旋转速度 5 - 20 rpm
蒸发源（2个蒸发源） 电子枪（带自动进料系统）
射频离子源 直径17cm
工作条件
电源要求 3相+G, 200V ± 5％、约140kVA、50/60Hz
冷却水流量 三个进水口≥200升/分钟
重量 约25000 kg