特殊规格光学镀膜机
OTFC-PX
OTFC-PX是搭载了行星回转机构与离子源，适用于多种曲率面型的透镜，反光镜的光学薄膜蒸镀的光学镀膜机。
- 特征
-
采用行星回转机构，提高表面分布情况
-
可以改变的基板架角度，在球面基板上实现高均匀性镀膜
-
采用离子束辅助蒸镀（IAD）方式，提高薄膜质量
-
光学式膜厚监控，实现高性能光学薄膜的蒸镀
-
大型真空室（Ф1800）搭载行星回转机构，提高生产能力
