ALDER

ADLER-1000P

ALDER-1000 实现了传统薄膜沉积方法无法实现的光学特性。可以形成3D胶片，相机镜头上的AR胶片可以创造出没有重影和眩光的清晰图像。

特征
可见光范围内小于0.1%的超低反射镀膜
在具有陡峭三维结构的表面上进行保形沉积
大曲率透镜两侧的广入射角增透膜
低温等离子在塑料镜片上成膜
通过同时沉积 40 个 φ350 晶圆实现高生产率
实现逼真清晰的图像，没有重影和眩光
规格
真空室 W900mm x D900mm x H1150mm
沉积箱 W374mm x D700mm x H800mm
转板架 φ350支架×40步，30rpm
等离子源 ICP（电感耦合等离子体）
前体来源 前体容器、ALD 阀、前体（TMA、3DMAS、TiCl4 等）
排气系统 干泵
性能
极限压力 真空室：小于7Pa
排气时间 真空室：30分钟（大气压至10Pa）
沉积温度 最高130℃