ALDER
ALDER-800P
ALDER-800P 是一种等离子 ALD 系统，可在塑料基板上进行光学多层沉积。
- 特征
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在整个镜片圆周和 3D 结构上进行保形沉积
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可以在 AI2O3、TiO2 和 SiO2 上进行薄膜沉积。
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工作盘成膜量大 Φ100×75片
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等离子工艺可实现低温沉积
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通过优化原材料供应和等离子体照射缩短沉积时间
